產(chǎn)品分類
干泵"Model:GR"是以獲得良好業(yè)績(jī)和信賴的"Model:LR/HR"為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的,面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的泵。
GR60
GR90
GR180
特點(diǎn)
可應(yīng)用于大氣真空間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域,可在高負(fù)荷下持續(xù)使用。
適用load lock室(裝載/卸載室),可實(shí)現(xiàn)高吞吐量。
感應(yīng)電機(jī)可通用
可以安裝防爆電機(jī)等特殊電機(jī)(可選)
采用多電壓兼容電機(jī)
用途
空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣
各種成膜設(shè)備放入取出室的真空排氣
真空干燥,真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)
真空氣體置換,如真空熱隔絕和氣體填充
規(guī)格
型號(hào) | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
最大排氣速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 183(3100) | |||
60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
極限壓力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
最大排氣壓力(吸入圧力) | 大氣壓 | |||||||
最大排氣口壓力(排出圧力) | Pa | 1.0 ~ 大氣壓 | ||||||
吸氣口 | VG50 | VG80 | ||||||
排氣口 | NW40 | |||||||
DRP表面處理 | 〇 | |||||||
電機(jī) | 輸出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
電壓 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
質(zhì)量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
冷卻方式 | 冷卻水 一次供給壓力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
冷卻水 出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||
冷卻水溫度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
氮?dú)?/td> | 一次側(cè) 供給圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
二次側(cè) 調(diào)整圧力 *3 | MPa | 0.05 to 0.1 (運(yùn)作時(shí)) | ||||||
軸 | SLM | 5.0 *4 |
*1 極限壓力是氮?dú)猓ㄝS封氣體)為5.0 SLM時(shí)的值。
*2 不結(jié)露。
*3 通過(guò)調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計(jì)值。
*4 氮?dú)猓ㄝS封氣體)的流量固定為5.0SLM。
配件
型號(hào) | 材質(zhì) | 表面處理 | 重量(kg) | 法蘭接口 | GR60A | GR90A | GR180A | |
消音器 | RS-01+ 套件A | SUS304 | GBB處理 | 4.1 | KF40 | 〇 | 〇 | - |
RS-01+ 套件C | SUS304 | GBB處理 | 8.3 | KF40 | - | - | 〇 |
尺寸圖
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